▶ 本报记者 张伟

11月4日，在西安市举行的2025硬科技创新大会光子产业高峰会议上，陕西光电子先导院总经理杨军红宣布光电子先导院建设的“8英寸先进硅光集成技术创新平台”（简称“8英寸硅光平台”）已正式通线。

杨军红表示，作为我国西北地区首条硅光中试线，8英寸硅光平台的正式通线，不仅填补了区域硅光芯片中试领域空白，更成为陕西“追光计划”实施以来的标志性成果，将作为陕西省打造千亿元级光子产业集群的核心支点，为“追光计划”从蓝图迈向实践注入关键动力。

构筑产业跃迁核心支点

自2021年陕西“追光计划”启动以来，该省光子产业已实现跨越式发展，企业数量攀升至370多家，产业规模从150亿元跃升至365亿元，初步构建“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链条。2023年，该省升级启动的“追光计划——跃迁行动”，更以“一核两翼+一园三区”布局明确发展路径，西安高新区作为核心承载区，集聚光子芯片园、光子制造园等特色载体，而陕西光电子先导院正是这一布局中的“创新策源中枢”。

“8英寸硅光平台的通线，补全了陕西省在硅光芯片中试领域的短板。”杨军红表示，作为“追光计划”的核心支撑平台，陕西光电子先导院已累计投入约15亿元构建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”双中试平台，此前6英寸化合物平台已服务50余家企业，如今硅光平台的加入，将与西安科学园的先进阿秒激光设施、光子传感园等产业化载体形成联动，为“追光计划”培育千亿元级集群提供从基础研究、中试验证到量产落地的全链条支撑。

数据显示，“追光计划”推进4年来，陕西光电子先导院已解决100余家初创企业“研发难、流片难”的问题。

硬核平台破解行业困境

作为AI算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑，硅光技术目前正处于技术突破与应用落地的关键期，但其产业发展长期受限于中试资源过于集中的困境。杨军红介绍称，全球硅光中试资源多掌握在国外企业手中，国内企业依托国外平台流片需支付高昂费用，且面临流片周期长、产能优先供给受限等问题，自建生产线则需巨额设备投入，很多中小企业和科研团队望而却步。

陕西光电子先导院的8英寸硅光平台，正是破解这一困境的“硬核方案”。该平台总投资7.5亿元，于2023年年底启动建设。截至2025年9月末，该平台已完成全部场地及硬件设施建设，构建起自主可控的先进工艺体系。

值得一提的是，陕西光电子先导院还在会上正式发布了一款无源SOI（绝缘衬底上的硅）集成超低损耗氮化硅产品的PDK（工艺设计套件）。“这是陕西光电子先导院硅光平台发布的首款PDK，预计将于2026年完成有源产品通线，包含高性能调制器、探测器等核心器件，将加速应用于人工智能、光通信、光计算等领域的产品迭代进程，将大幅缩短光电、硅光客户的流片周期和研发成本。”杨军红表示。

“1+N模式”构建产业生态

此次硅光平台通线，使陕西光电子先导院形成“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”的双中试平台格局，成为国内少数具备全链条中试能力的创新载体。而支撑双平台高效运转的正是陕西光电子先导院在国内率先提出的“1+N”柔性工程平台模式。

“‘1’即以‘6英寸化合物平台+8英寸硅光平台’为核心的主工艺平台，承担资源整合与稳定运行的使命——我们将80%资源向中小企业开放中试流片服务，加速产品市场化；20%资源用于支持前沿创新研发，孵化突破性技术。”杨军红解释，在此基础上，“N”个特色工艺平台将针对磷化铟探测器、砷化镓射频器件等细分领域，通过设备共享、技术授权、联合定制研发等方式，降低企业初始投入，实现专项突破。

这一模式已初见成效。6英寸化合物平台自2023年启用以来，已发布20余款PDK，为50余家客户提供全流程服务；8英寸硅光平台虽刚通线，但已与10余家头部企业达成意向合作协议。深圳瑞识智能科技有限公司董事长汪洋说：“海外代工厂解决不了研发阶段的高度定制化需求，在陕西光电子先导院，排队等待中试的时间短，速度比在国外做中试快5倍以上。”

“从化合物半导体到硅光集成，我们正以平台能力跃升支撑新质生产力发展。”杨军红透露，下一步，陕西光电子先导院将推进异质异构集成平台建设，构建“化合物半导体+硅光+异质异构集成”三位一体的平台架构，实现从材料生长、芯片制程、器件封装到系统测试的全链条覆盖，为光通信、生物传感、人工智能等前沿领域技术发展提供关键支撑，助力陕西省建设光子产业高地。